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Vakuumbeschichtung (English, Gerard Kienel | Klaus Röll)
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Product Description
About the Book
Schwerpunkte in Band 2 bilden das Aufdampfen im Hochvakuum, das Ionenplattieren, die Kathodenzerstäubung, teilchengestützte Verfahren, die Erzeugung von Mikrostrukturen, Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD).
ISBN: 9783642633980
Specifications
| Publisher | Springer |
| Language | English |
| ISBN-13 | 9783642633980 |
| ISBN-10 | 3642633986 |
| Author | Gerard Kienel | Klaus Röll |
